सेमीकंडक्टर क्लीन रूम तापमान आर्द्रता नियंत्रण योजनेसाठी तापमान आणि आर्द्रता सेन्सर
उत्पादन शो
तापमानआणिस्वच्छ जागेची आर्द्रता प्रामुख्याने प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार निर्धारित केली जाते, परंतु प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्याच्या अटीनुसार, आरामाची भावना विचारात घेतली पाहिजे.हवेच्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांमध्ये सुधारणा झाल्यामुळे, तापमान आणि आर्द्रतेसाठी अधिकाधिक कठोर आवश्यकतांचा कल वाढला आहे.
प्रक्रियेची अचूकता अधिकाधिक सूक्ष्म असल्याने तापमान चढउतार श्रेणी कमी कमी होत जाते.उदाहरणार्थ, मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट उत्पादनाच्या लिथोग्राफिक एक्सपोजर प्रक्रियेत, मुखवटा सामग्री म्हणून काच आणि सिलिकॉन वेफरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक लहान आणि लहान असणे आवश्यक आहे.व्यास 100 um सिलिकॉन वेफर, तापमानात 1 अंश वाढ, 0.24um रेखीय विस्तारास कारणीभूत ठरेल, म्हणून तेथे तापमान ±0.1 अंश असणे आवश्यक आहे, त्याच वेळी आर्द्रता मूल्य सामान्यतः कमी असते, कारण लोक घाम गाळतात, उत्पादनात प्रदूषण होते, विशेषत: सोडियम सेमीकंडक्टर कार्यशाळेची भीती, ही कार्यशाळा 25 अंशांपेक्षा जास्त नसावी.
जास्त आर्द्रतेमुळे अधिक समस्या निर्माण होतात.जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 55% पेक्षा जास्त असेल, तेव्हा कूलिंग वॉटर पाईपच्या भिंतीवर दव तयार होईल, जे अचूक उपकरणे किंवा सर्किटमध्ये घडल्यास विविध अपघात घडतील.जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% असते तेव्हा गंजणे सोपे होते.याव्यतिरिक्त, जेव्हा आर्द्रता खूप जास्त असते, तेव्हा सिलिकॉन चिपच्या पृष्ठभागावर चिकटलेली धूळ काढून टाकण्यास प्रतिकार करण्यासाठी पृष्ठभागावर रासायनिकरित्या शोषली जाईल.सापेक्ष आर्द्रता जितकी जास्त असेल तितकी आसंजन काढून टाकणे कठीण आहे, परंतु जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक शक्तीच्या क्रियेमुळे कण पृष्ठभागावर शोषण्यास सोपे असतात आणि मोठ्या संख्येने अर्धसंवाहक उपकरणे असतात. ब्रेकडाउनला प्रवण.वेफर उत्पादनासाठी इष्टतम तापमान श्रेणी 35-45% आहे.
म्हणून, तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रित करणे विशेषतः महत्वाचे आहे, HENGKO तुम्हाला मालिका प्रदान करू शकतेतापमान आणि आर्द्रता ट्रान्समीटर सानुकूलित प्रक्रिया उपाय!
सेमीकंडक्टर क्लीन रूम तापमान आर्द्रता नियंत्रण योजनेसाठी तापमान आणि आर्द्रता सेन्सर
आपल्या गरजा पूर्ण करणारे उत्पादन शोधू शकत नाही?आमच्या विक्री कर्मचार्‍यांशी संपर्क साधाOEM/ODM सानुकूलित सेवा! 
