अति-शुद्ध सेमीकंडक्टर गॅस सिस्टमसाठी प्रगत IGS सरफेस माउंट सी-सील फिल्टर्स

वर्णन

हेंगको सरफेस माउंट फिल्टर्स हे सेमीकंडक्टर OEM टूल्समध्ये वापरल्या जाणाऱ्या एकात्मिक गॅस सिस्टीमच्या आव्हानात्मक गरजा पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. 0.003 µm वर उद्योगातील अग्रगण्य फिल्ट्रेशनची सुविधा देणारे हे फिल्टर्स, 120 slpm वर ≥99.9999999% (9-LRV) च्या कण रोधन कार्यक्षमतेसह अपवादात्मक कार्यप्रदर्शन आणि विश्वसनीयता सुनिश्चित करतात.

फिल्टर एलिमेंट आणि हाउसिंगसाठी मजबूत 316L स्टेनलेस स्टील पावडर सिंटर्डपासून बनवलेले, हे फिल्टर्स SEMI F86-0304 मानकांशी सुसंगत आहेत, ज्यात C-सील कॉन्फिगरेशनसह 1.125” गॅस वितरण प्रणालीसाठी तयार केलेले टू-पोर्ट घटक आहेत. ते 100°C तापमानावर 3.4 MPa चा कमाल इनलेट दाब आणि 100°C तापमानावर 0.69 MPa चा कमाल ऑपरेटिंग दाब फरक सहन करतात.

सी-टाइप आणि डब्ल्यू-टाइप या दोन्ही सील वैशिष्ट्यांशी सुसंगत असलेले हे विशेष फिल्टर्स, कणांचे उत्सर्जन करून डाउनस्ट्रीम स्वच्छता साध्य करतात.

रा च्या पृष्ठभागाच्या फिनिशसहबाहेरील बाजूस < १.६ µm आणि Raआतील बाजूस < ०.१३ µm जाडी असलेले हे फिल्टर्स ४६०°C पर्यंतचे उच्च तापमान सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. सुलभ एकत्रीकरण आणि मॉड्यूलर डिझाइन अपग्रेडसाठी तयार केलेले, हे फिल्टर्स इन्स्टॉलेशन आणि देखभाल सुलभ करतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर गॅस वितरण आणि नियंत्रण ॲप्लिकेशन्समध्ये सिस्टमची कार्यक्षमता ऑप्टिमाइझ करण्यास मदत होते.

उत्पादनाचे वैशिष्ट्य

▶ संपूर्ण ३१६एल स्टेनलेस स्टील बांधकाम
▶ लघु रचना, सुटसुटीत संरचना, जागेची बचत
▶ उत्कृष्ट वायू प्रतिस्थापन आणि अपशोषण वैशिष्ट्ये
▶ उच्च तापमान, उच्च दाब आणि गंजरोधक
▶ इलेक्ट्रो-पॉलिश केलेले 316L स्टेनलेस स्टीलचे आवरण
▶ सोपी आणि कार्यक्षम स्थापना आणि देखभाल
▶ यांत्रिक सीलिंग, माध्यमाला संरचनात्मकदृष्ट्या वेल्ड न केलेले

डेटाशीट

आकार

तुम्ही ऑर्डर करू शकता असा पार्ट नंबर आणि आकाराचा तपशील येथे दिला आहे:

ठराविक अनुप्रयोग

डब्ल्यू-सील आणि सी-सील, १.१२५” आणि १.५” सरफेस माउंट मॉड्युलर गॅस डिलिव्हरी सिस्टीमसोबत वापरण्यासाठी.